真空产品 - 高真空产品
半导体晶圆制造的高真空需要精确的设备，以使工艺室中的空气排气，并提供大气以使Chanber恢复到大气压力。
狭缝阀（XGTP）允许访问将晶片转移到过程室中。
角度和内联阀（XL，XM，XY）用于耗尽腔室。
供应阀（XSA，XVD）用于向房间提供气体。
角度和在线阀
高真空角和在线阀用于使用高真空气体和加工气体的工业应用。可能使用这些角阀的普通行业包括半导体，太阳能和其他选举产品，以及食品和药品制造。
缝阀
XGT SLIT阀系列适用于负载锁室和转移室之间的分区阀，在半导体制造设备中的转移室和工艺室之间的分区阀，等等。
流畅的通风孔
光滑的通风阀通常是封闭的阀门，具有连接类型VCR（男性和女性）和Swagelok。主电源的端口大小为1/4英寸，孔口为3mm。材料由SUS316L（车身和波纹管），SUS304（隔膜）和FKM（阀门和外部密封）组成。
电磁阀
XSA系列是一种通常封闭的螺线管阀，适用于高真空应用中的空气或惰性气体。该阀在低至1x10的工作压力下正常运行-6PA（绝对）。面部密封和压缩拟合选项可提供极低水平的内部和外部泄漏。提供了两个DC和八个交流电压选项，并配上多种电气入口样式。