工艺气体设备-止回阀/真空发生器/流量开关
高纯度(UHP)止回阀/真空发生器/流量开关用于半导体和其他清洁行业的气体输送。该系列可用于低流量或高流量，有些型号提供固定隔膜设计。可用选项包括哈氏合金®耐腐蚀内部件，管短焊接头连接类型，和各种表面饰面。
止回阀
AP64是一种全焊接无弹簧止回阀。独特的超净设计，只有一个运动部件和o型圈。止回阀为氮气吹扫气体引入和其他应用提供逆流保护。
真空发生器
真空发生器有四种型号可供选择，两个简单的真空发生器ap7和AP70，两个模块AP71和AP72，包括真空发生器、氮气入口截止阀和氮气入口止回阀。该模块为真空发生器安装提供了一个紧凑和经济有效的解决方案。单个真空发生器提供多种配置。该设备设计用于气体输送系统，以提高排气净化时的效率。
流量开关
AP 74和AP 74B是用于检测超高压气体输送系统中过量流量的安全装置。该开关具有多种跳闸点和配置。一个在线选择指南使选择适当的开关给定的气体，压力和最大流量像几个按键一样简单。