●自动化●控制
高真空角和联机阀用于工业应用中使用高真空和工艺气体。可能使用这些角阀的常见行业包括半导体、太阳能和其他电子生产,以及食品和制药制造业。
高真空角阀系列XL提供优异的导热性能,使整个阀体温度均匀,并显著减少阀门内部气体的冷凝。该阀不含重金属,如Ni(镍)或Cr(铬)和低溅射产量也有助于最大限度地减少半导体晶圆的重金属污染。
XM系列(高真空角阀)、XY系列(高真空直插式阀)阀体材质为SUS(不锈钢)。XM的结构和XL是一样的,除了XL的车身材料是铝。XM系列可与XL系列互换。XY系列的精密铸造,一体式制造工艺,防止了由于气体积累而造成的缺陷,并确保体内没有气孔。