高真空设备
真空室一般用于半导体制造过程中。从供气大气压抽气到真空室的周边设备如阀门、压力开关、钢瓶、闸阀等应满足无泄漏、洁净规格、耐腐蚀等条件。SMC的高真空产品满足了这些需求。
高真空设备
角阀和管路阀
高真空角和联机阀用于工业应用中使用高真空和工艺气体。可能使用这些角阀的常见行业包括半导体、太阳能和其他电子生产，以及食品和制药制造业。
狭缝的阀门
XGT系列狭缝阀适用于半导体制造设备中锁载室与传递室之间、传递室与工艺室之间的隔断阀等。
光滑的发泄
光滑排气阀系列XVD2是一种常闭型阀门，连接类型有VCR(公母)和Swagelok。主要供应的端口尺寸是1/4"和孔口是3mm。材料由SUS316L(阀体及波纹管)、SUS304(膜片)、FKM(阀门及外密封)组成。
电磁阀
XSA系列是一种常闭电磁阀，适用于空气或惰性气体在高真空应用。这种阀门在低至1x10的工作压力下也能正常工作6Pa(绝对)。表面密封和压缩连接件选项提供极低水平的内部和外部泄漏。两个直流和八个交流电压可供选择，搭配多种电源输入风格。